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          HEIMANN SENSOR真空傳感器HVS v ac04

          HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標(biāo)準(zhǔn)測量范圍擴(kuò)展到1E-1mb...
          • 品牌:HEIMANN SENSOR
          • 型號:HVS v ac04
          • 閱讀次數(shù):2198

          產(chǎn)品介紹

          HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標(biāo)準(zhǔn)測量范圍擴(kuò)展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型傳感器,基于薄微機(jī)械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu),傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。

          規(guī)格參數(shù)

          參數(shù)

          HVS Vac03g

          HVS Vac03k

          HVS Vac04

          單位

          外殼

          TO8

          TO39

          TO39(單個)

          TO8(雙)

           

          芯片尺寸

          5.2x5.2

          4.0x4.0

          1.2x1.2

          mm2

          傳感器電阻RP(典型值)

          8.5

          8.5

          1

          kOhm

          片上參考電阻RK(典型值)

          8.5

          8.5

          1

          kOhm

          電源電壓U0 (max.)

           

          3.5

           

          3.2

           

          4(1..1000 mbar)

          2(p <1 mbar)

          volt

          工作溫度

          -20..120

          °C

          儲存溫度

          -40..120

          °C

           


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