CDE四點(diǎn)探針電阻儀ResMap 178

ResMap Model 178已成為成本效益電阻率測量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。該四點(diǎn)探針旨在滿足工藝開發(fā)和工具表征工程師的需求，具有所需的準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性。其龐大的安裝基礎(chǔ)證明了其性能、易用性和低擁有成本。

CDE的成立旨在為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)開發(fā)和制造高性能、高性價(jià)比的晶圓計(jì)量工具。CDE ResMap是一系列適用于各種應(yīng)用的自動電阻率測繪系統(tǒng)。4點(diǎn)探針測量工具是一種儀器，用于測量導(dǎo)電介質(zhì)（通常是半導(dǎo)體應(yīng)用的薄膜）中的薄層電阻（或Rs）。

• 準(zhǔn)確性
• 可重復(fù)性
• 可靠性

• 晶片處理：手動裝載
• 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
• 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
• 典型測量時(shí)間：每個(gè)站點(diǎn)1秒
• max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個(gè)站點(diǎn)）
• 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優(yōu)化到1米?/）
• 重復(fù)性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態(tài)或Rs-pack）；≤±0.1%（動態(tài)近點(diǎn)）
• 精度：使用NIST traceableResCal標(biāo)準(zhǔn)≤±0.5%
• min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
• 交流電源：100V至240V<10 KVA
• 產(chǎn)地：美國