SENS4電離真空計VPM-4 SmartPirani

VPM-4 SmartPirani LT 傳感器基于創(chuàng)紀(jì)錄的 VPM-5 SmartPirani 傳感器所使用的熱損失傳感器技術(shù)，測量范圍為 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）。該傳感器技術(shù)將熱導(dǎo)真空計的可用測量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍，從而確立了新的標(biāo)準(zhǔn)。SmartPirani 基于新型的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了數(shù)字信號處理架構(gòu)和創(chuàng)新測量算法，只有 Sens4 才能提供。SmartPirani LT 擴(kuò)展了測量范圍，可用于傳統(tǒng)的熱陰極電離真空計或冷陰極電離真空計的測量范圍。SmartPirani LT 針對低量程測量性能進(jìn)行了優(yōu)化，其上限測量范圍可達(dá) 13 mbar（10 托）。 SmartPirani 傳感器系列還包括全量程 VPM-5 SmartPirani（提供 2 至 1333 mbar的獨(dú)立氣體測量）和 VPM-7 SmartPirani ATM（進(jìn)一步提供大氣開關(guān)功能）。用戶可通過 PC 或智能手機(jī)的數(shù)字通信接口對傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可通過串行接口或 S4-Connect 接口進(jìn)行配置。數(shù)字接口可進(jìn)行診斷、預(yù)測性維護(hù)、服務(wù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放以及獲取實(shí)時真空壓力測量值，以便在屏幕上進(jìn)行可視化。S4-Connect USB 編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是一種即插即用的解決方案，可用于傳感器編程、實(shí)時測量和診斷。

測量范圍為 1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10 托）

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器

創(chuàng)新數(shù)字信號處理  

可安裝在任何方向而不影響性能

可編程電壓輸出信號，可與其他供應(yīng)商仿真

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

低壓真空開關(guān)

用于真空過程控制的三個固態(tài)設(shè)定點(diǎn)

10 bar（145 磅/平方英寸）的高過壓容限

堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485 引腳說明

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 通用

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開（常開觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

• CAL-VPM4-DAKKS DAkkS 實(shí)驗室認(rèn)可的校準(zhǔn)證書
• S4-Connect USB 編程器

PRG-S4-15DS-01 S4-Connect USB 編程器，15p HD D-sub 接口

PRG-S4-9DS-01 S4-Connect USB 編程器，9p D-sub 接頭

PRG-S4-RJ45-01 S4-Connect USB 編程器，8 個 FCC68/RJ45 連接器

PRG-S4-HM-01 S4-Connect USB 編程器, 6p 赫斯曼接口

• 用于 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器的 USB 至串口轉(zhuǎn)換器（90-230 VAC 墻插供電）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90-230VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90-230VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90-230VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 轉(zhuǎn) USB 通訊器，9 針 D-sub 接口，電源 (90-230VAC)

• USB 至串口轉(zhuǎn)換器，用于 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器（USB 端口供電）

PRG-RS2-15DS-01 RS-232 通訊器 USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS4-15DS-01 RS-485 通訊器 USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS2-9DS-01 RS-232 USB通訊器，9p高清D-sub接口

PRG-RS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB, 9p D-sub 接頭

• 電纜

CAB-F15DSM15DS-003 15p HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15p D-sub 公頭，帶 3 米電纜

CAB-F15DSM15DS-005 15 p HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 p D-sub 公頭，帶 5 m 電纜

CAB-F15DSM15DS-010 15 p HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 p D-sub 公頭，帶 10 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-003 9 p D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 p D-sub 公頭，帶 3 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-005 9 p D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 p D-sub 公頭，帶 5 m 電纜

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10.0 托）

測量原理 1×10^-6 至 13.33 mbar：MEMS Pirani 熱導(dǎo)率

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-1 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 1.00 至 13.33 mbar：讀數(shù)的 30 %

滯后 1×10^-3 至 13.33 mbar：1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10^-6 至 13.33 mbar（3.75×10^-6 至 10.0 托）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)證： 文件 E76270；CSA 認(rèn)證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護(hù)：是

過壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險絲：100 mA（可熱恢復(fù)）

外殼材質(zhì)：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質(zhì)浸濕）：不銹鋼 1.4307 / AISI 304L

真空外露材料（與介質(zhì)接觸）：304L 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金、氟橡膠、低放氣環(huán)氧樹脂

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡、熔爐熱處理、玻璃、光學(xué)器件、工具等的 PVD 涂層、制冷服務(wù)和制造、半導(dǎo)體加工