SENS4傳感器模塊VPi-7 iVacSens

iVacSens 系列真空傳感器模塊是很小的寬量程多功能組合真空計(jì)。iVacSens 具有全功能傳統(tǒng)真空傳感器的功能，校準(zhǔn)后即可交付使用。它專為在真空下操作的儀器（如質(zhì)譜儀和掃描電子顯微鏡）中的高等級(jí)設(shè)備集成而設(shè)計(jì)。iVacSens 基于創(chuàng)紀(jì)錄的 SmartPirani MEMS 熱損失傳感器，與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì)和對(duì)流真空計(jì)相比，具有同類更好的性能、更寬的測量范圍和更高的精度。SmartPirani 傳感器技術(shù)與隔膜傳感器相結(jié)合，可在 2 至 1,333 mbar范圍內(nèi)進(jìn)行不受氣體影響的測量。iVacSens ATM 具有內(nèi)置大氣開關(guān)功能，可通過測量相對(duì)氣壓準(zhǔn)確控制真空系統(tǒng)排氣至大氣壓。iVacSens ATM 包含一個(gè)熱損耗 MEMS Pirani 傳感器、一個(gè)Abs膜片傳感器、一個(gè)氣壓傳感器、一個(gè)真空溫度傳感器和一個(gè)環(huán)境溫度傳感器。所有傳感器測量值均可通過 UART 或 RS-485 數(shù)字接口訪問。溫度參數(shù)可用于在設(shè)備過熱時(shí)發(fā)出關(guān)閉設(shè)備的警告或控制信號(hào)，或作為計(jì)算設(shè)備預(yù)測性維護(hù)的參數(shù)。

超寬測量范圍達(dá) 9 個(gè)量程

大氣開關(guān)功能

用于過程控制的 3 個(gè)數(shù)字設(shè)定點(diǎn)輸出

氣壓環(huán)境壓力測量

模擬電壓輸出

數(shù)字 UART 接口

數(shù)字 RS-485 接口

遠(yuǎn)程零點(diǎn)調(diào)整

用于診斷的真空溫度傳感器

超緊湊設(shè)計(jì)

連接器引腳引出（10 針 0.5 毫米間距） FCC) 引腳說明

1 電源電壓 -（返回）

2 電源電壓 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模擬電壓信號(hào) -（返回）

4 模擬電壓信號(hào) +

5 設(shè)定點(diǎn) 3 輸出

6 設(shè)定點(diǎn) 2 輸出

7 設(shè)定點(diǎn) 1 輸出

8 UART 接收或 RS-485 B

9 UART 發(fā)送或 RS-485 A

10 遠(yuǎn)程零點(diǎn)輸入

iVacSens 連接電纜 產(chǎn)品編號(hào)

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 30 mm 長 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 50 mm 長 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 100 mm 長 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 150 mm 長 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 200 mm 長 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 300 mm 長 CAB-FCC10P-300

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1,333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1,200 mbar（ISO 19685:2017）：0.1 %

氣壓測量范圍：300 至 1,200 mbar

氣壓精度：+/- 0.5 mbar

大氣參考?jí)毫敵龇秶?1,333 至 + 1,333 mbar

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出：0.2 至 1.55 VDC（150 mV/十進(jìn)制mbar/托）

模擬輸出分辨率：12 位

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間：< 20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

設(shè)定點(diǎn)范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1,333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

設(shè)定點(diǎn)范圍（相對(duì)大氣壓）：-1,100 至 + 500 mbar（-770 至 +375 托）

設(shè)定點(diǎn)輸出高電平：> 2.9 VDC

設(shè)定點(diǎn)輸出低電平：< 0.4 VDC

設(shè)定點(diǎn)輸出源電流和灌電流：Max 1 mA

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗：25 mW（Max值）3.3 VDC 電源；95 mW（Max值）4 至 18 VDC 電源

限性反接保護(hù)：無

過壓保護(hù)：無

傳感器泄漏密封性（ISO 27895:2009）：<1-10^-9 mbar-l/sec

符合 RoHS 規(guī)范：歐盟指令 EU 2015/863

質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡、真空泵集成、閥門集成、太空飛行、泄漏檢測、飛輪儲(chǔ)能、真空開關(guān)