COHERENT準(zhǔn)分子激光器VarioLas Eco

以功能強(qiáng)大的 COMPex 準(zhǔn)分子激光器為基礎(chǔ)的系統(tǒng)是一種靈活的工具，可用于線光束或方形光束場(chǎng)形狀的高質(zhì)量紫外微加工。光學(xué)設(shè)計(jì)、堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)以及具有脈沖間高穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的結(jié)果。其應(yīng)用包括激光分離（LLO）、摻雜離子活化、燒蝕成片和薄膜退火。可提供 193 nm、248 nm 和 308 nm 三種波長(zhǎng)。

高分辨率光學(xué)和機(jī)械結(jié)構(gòu)確保結(jié)果的可重復(fù)性

模塊化設(shè)計(jì)，提供量身定制的選項(xiàng)，使用靈活

方形光束和線形光束區(qū)域可獲得更好的效果

支持所有 COMPex 激光器型號(hào)，實(shí)現(xiàn)有效加工

產(chǎn)地：美國(guó)

磁場(chǎng)幾何形狀：正方形

基底場(chǎng)尺寸：2 x 2 mm²

光學(xué)分辨率：30 μm

工作距離：50 mm

Max重復(fù)率：100 Hz

Max 193 nm時(shí)的能量密度：2.5 J/cm²

Max 248 nm時(shí)的能量密度：7.5 J/cm²

Max 308 nm時(shí)的能量密度：6.0 J/cm²

193 nm波長(zhǎng)的能量穩(wěn)定性：2 %，1 sigma

248 nm波長(zhǎng)的能量穩(wěn)定性：1 %，1 sigma

308 nm波長(zhǎng)的能量穩(wěn)定性：1 %，1 sigma

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準(zhǔn)分子激光退火