COHERENT準(zhǔn)分子激光器VYPER

VYPER 系列激光器是專為準(zhǔn)分子激光退火 (ELA) 而設(shè)計(jì)的多光束更高功率準(zhǔn)分子激光器。高分辨率移動(dòng)顯示屏制造對(duì)質(zhì)量的要求很高，這就需要高質(zhì)量的低溫多晶硅（LTPS），而只有準(zhǔn)分子激光器才能制造出這種產(chǎn)品。這些激光器與高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學(xué)鏡組相匹配。

高紫外功率，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量應(yīng)用

高能量穩(wěn)定性，確保高產(chǎn)量

EquiSwitch 同步提供更低的抖動(dòng)

激光數(shù)據(jù)采集，實(shí)現(xiàn)過程控制

密封和凈化光束路徑，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行

用于控制和快速數(shù)據(jù)采集的以太網(wǎng)接口

產(chǎn)地：美國(guó)

波長(zhǎng)：308 nm

Max穩(wěn)定脈沖能量：2000 mJ

Max穩(wěn)定平均功率：1200 W

Max重復(fù)率：600 Hz

總能量穩(wěn)定度 sigma：≤ 0.45 %

脈沖持續(xù)時(shí)間（FWHM）：24 ± 45 ns

光束尺寸（FWHM，V x H）：35 ±4 x 14.5 ±3 mm²

光束發(fā)散（全寬，V x H）：≤4.5 x 1.3 mrad²

Max穩(wěn)定能量下的動(dòng)態(tài)氣體壽命：1 億脈沖

重量：4400 kg/9700 lbs.

冷卻：水，Max 2x 70 l/min（2x 18.5 gal./min）

工作溫度：12 至 15 ℃

電氣：2 x 39 kVA，三相，400 VAC，50 或 60 Hz

尺寸（長(zhǎng)x寬x高）：2800 x 1700 x 2085 ± 20 mm；110 x 66.9 x 82 ± 0.8 英寸

準(zhǔn)分子激光退火、脈沖激光沉積