COHERENT紫外激光器Azure NX 266-1000

Azure NX 266-1000 是款高功率 CW 深紫外激光器，可用于要求苛刻的全天商業(yè)應用。Azure NX 的紫外功率是上一代產(chǎn)品的四倍。Azure NX 激光器以大功率光泵浦半導體（OPS）綠光激光器為基礎(chǔ)，采用單頻操作和波長控制技術(shù)，利用 PermAlign 安裝技術(shù)確保持續(xù)可靠的性能。該系統(tǒng)還可通過局域網(wǎng)或 WEB GUI 進行免提操作。這種高功率激光器是半導體檢測等應用的適配之選，可以在更短的時間內(nèi)檢測出更小的缺陷。

專為商業(yè)應用中的全天運行而設(shè)計

1 W 超低噪聲 CW 266 nm波長

免提操作

緊湊型 PermAlign 設(shè)計，密封封裝

單穩(wěn)頻和穩(wěn)頻

產(chǎn)地：美國

功率：1 W

波長：266 nm

線寬：< 500 kHz

波束腰直徑：2 ± 0.3 mm

光束腰位置相對于光束出口（m）：前擋板 ± 25 % 瑞利范圍

光束發(fā)散（全角）：< 0.3 mrad

光束橢圓度：0.9 至 1.1

散光：± 25 % 瑞利范圍

指向穩(wěn)定性：< ± 5 µrad/ ℃

指向性：（主動穩(wěn)定）<20 µrad

橫向模式：TEM00

M²：<1.3

極化：線性，垂直 ±3°, 200:1

8 小時內(nèi)輸出功率穩(wěn)定性：< 1 %

有效值噪聲（10 Hz 至 500 MHz）：< 0.5 %

PTP 噪聲（100 秒，1 至 100 MHz）：< 3 %

冷啟動預熱時間：<2 小時

從待機預熱時間：<30 分鐘

晶體移動后預熱時間：<2 分鐘

FHG 晶體點壽命：250 小時

FHG 水晶點數(shù)量：>30

激光頭尺寸（長 x 寬 x 高）：225 x 177 x 483 mm³ (8.86 x 6.97 x 19.02 in.³)

電源尺寸（長 x 寬 x 高）：452 x 88 x 420 mm³ （17.95 x 3.46 x 16.54 in.³）

冷卻器尺寸（長 x 寬 x 高）：482 x 134 x 570 mm³（18.98 x 5.28 x 22.44 in.³）

再循環(huán)裝置尺寸（長 x 寬 x 高）：229 x 223 x 276 mm³（9.02 x 8.78 x 10.87 in.³）

激光頭重量：25 kg

電源重量：10 kg

冷卻器重量：20 kg

循環(huán)器重量：10 kg

激光頭電纜長度：5 m

工作溫度要求：20 至 33 ℃

激光頭：水冷閉環(huán)激光頭冷卻器

電源：風冷

再循環(huán)裝置：水冷式

運輸要求：0 至 55 ℃，無冷凝環(huán)境

水平方向：± 2°

電源：0.6 kW

激光頭消耗功率：1 kW

冷卻器消耗功率：1 kW

通信接口/協(xié)議：以太網(wǎng)

半導體檢測、拉曼光譜、光纖布拉格光柵、光刻技術(shù)