VAT擺動控制閥65.5

65.5 HV擺動控制閥提供卓絕的高可控導(dǎo)電率范圍。其關(guān)鍵特性還在于平滑的啟閉運動，可實現(xiàn)極低的顆粒計數(shù)和低顆粒活化水平。

該閥門專為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的腐蝕性蝕刻和清洗等惡劣工況設(shè)計，在需要高可控導(dǎo)電率范圍且初始可控導(dǎo)電率較低的應(yīng)用場景中表現(xiàn)優(yōu)異。

65.5閥門提供DN 250mm（10英寸）規(guī)格，lowest導(dǎo)通量可控至2 l s?¹。憑借32位執(zhí)行器控制器的數(shù)據(jù)處理能力，導(dǎo)通量增量可實現(xiàn)極精細(xì)調(diào)控。其傳感器與控制指令處理速度優(yōu)于同等16位控制器，從而提供更快的執(zhí)行響應(yīng)。控制器配備多種標(biāo)準(zhǔn)端口接口，可輕松連接個人電腦或過程控制單元。

擺動閘門機(jī)構(gòu)采用高度堅固的設(shè)計，確保能抵御任何工藝副產(chǎn)物的影響。為減少密封件磨損并避免顆粒產(chǎn)生及活化，其啟閉運動被分段實施：初始導(dǎo)流階段通過閘門垂直遠(yuǎn)離閘座實現(xiàn)，后續(xù)導(dǎo)流增強(qiáng)則依靠閘門水平擺動完成。憑借閘門運動的精細(xì)可控性，預(yù)設(shè)運動序列可準(zhǔn)確匹配工藝需求。通過專利設(shè)計的專用壓緊桿將閘門壓向閥座，確保閘門各區(qū)域均獲得均勻密封壓力，實現(xiàn)完全密封關(guān)閉。

65.5系列采用緊湊設(shè)計，支持直接安裝及多種其他配置選項，可輕松集成于各類真空工藝流程。

65.5 HV擺動控制閥提供空白或硬質(zhì)陽極氧化鋁材質(zhì)，配備符合ISO-F和JIS標(biāo)準(zhǔn)的法蘭連接件。可集成客戶定制法蘭，并可加裝加熱器以滿足高達(dá)120°C的閥門工作溫度需求。

在惡劣工藝環(huán)境中實現(xiàn)可靠隔離

低沖擊運行，低顆粒活化

工藝惰性——極低殘余脫氣量（RGA）

快速可調(diào)操作

內(nèi)置壓力控制器

僅需單一電源供電，可選配傳感器電源

卓絕的壓力控制性能

快速運行，幾乎無顆粒產(chǎn)生

可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)

1. 閘板
2. 執(zhí)行器軸
3. 雙軸執(zhí)行器
4. 執(zhí)行器穿壁密封件
5. 閘板密封件

半導(dǎo)體制造：在腐蝕性刻蝕和清潔工藝中，65.5系列閥門通過精細(xì)流導(dǎo)控制，減少粒子污染，提升良品率。

顯示器生產(chǎn)：其低沖擊運行特性避免對敏感顯示層的損傷，確保生產(chǎn)穩(wěn)定性。

真空傳輸系統(tǒng)：緊湊設(shè)計和可靠密封性能，使其成為真空傳輸環(huán)節(jié)的理想選擇。