產品介紹
07.7大型轉移門配L-VAT系統(tǒng)為真空門樹立了新標桿。該產品通過優(yōu)化三大核心性能指標實現(xiàn)卓絕表現(xiàn)：(1) 顆粒排放防護，(2) 快速可調的循環(huán)周期，(3) 高運行時間與便捷高效的維護。
其卓絕性能在嚴苛應用場景及多變工藝條件下尤為突出。
07.7型轉移門的設計重點在于卓絕的顆粒性能。其開啟與關閉采用純L型運動軌跡。閥門所有可能存在顆粒釋放風險的部件均采用獨立密封設計。例如：兩側門導軌采用PTFE波紋管密封，壓力梁的壓力元件采用焊接金屬波紋管密封，電纜拖鏈則配備符合IPA潔凈室1級標準的PTFE防護罩。
07.7傳輸門的核心優(yōu)勢在于：即便在高速啟閉循環(huán)中仍能實現(xiàn)平穩(wěn)閉合。氣動執(zhí)行器內的阻尼機構可調節(jié)以適應不同循環(huán)速度，從而max限度減少閉合沖擊，降低顆粒激活風險。側導軌設計確保門體運動平穩(wěn)，有效抑制振動。磁性位置指示器（MPI）用于準確顯示門體垂直與水平位置。07.7型配備高性能氣密門所需的全部功能。
維護停機不僅令人困擾，更是可避免的成本，還會降低產量。07.7通過縮短維護中斷時間并降低其發(fā)生頻率，max限度延長設備運行時間。簡化的閘板更換與壓力元件便捷檢修，僅是顯著降低維護工作量的兩項設計亮點。此外，密封壓力可根據(jù)工藝需求靈活調節(jié)，例如在使用其他密封材料時。
集成式間隔件還能防止板式密封過度加壓，減少O型圈磨損，并通過延長免維護周期提升設備可用性。
性能特點
所有潛在顆粒排放元件均采用密封設計
純L-Motion運動系統(tǒng)——在任何工況下均保持平穩(wěn)無振動運行
配備垂直與水平位置磁性指示器
卓絕的顆粒排放防護性能
快速可調的循環(huán)周期
高運行時間，低維護需求且操作簡便
技術參數(shù)
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產地 |
瑞士 |
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尺寸 |
客戶定制 |
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執(zhí)行器 |
氣動：雙作用 |
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穿管 |
軸穿管 |
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泄漏率 |
FKM閘板密封（如Viton）：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閘門處壓差 |
關閉方向：≤ 1 bar |
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開啟方向：≤ 5 mbar |
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開啟時壓差 |
≤ 5 mbar |
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初次維護前循環(huán)次數(shù) |
100萬次（未加熱且清潔工況下） |
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溫度 |
閥門處：≤ 60 °C |
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氣動執(zhí)行器：≤ 80 °C |
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電磁閥：≤ 50 °C |
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啟閉時間（標準型） |
開啟高度≤250 mm：<3秒/<3秒 |
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開啟高度>250 mm：取決于尺寸 |
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材質 |
鋁制閥門：EN AW-5083 |
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硬質陽極氧化鋁（可選）;EN AW-5083 |
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不銹鋼閘板（可選）:AISI 304 (1.4301)、AISI 316L (1.4404) |
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側導軌（軸）:100 Cr6 (1.3505)，硬鉻鍍層 |
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密封件 |
閘板：FKM（Viton） |
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執(zhí)行器、壓緊板：NBR與FKM（Viton） |
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安裝位置 |
執(zhí)行器向下（可選：向上/側向） |
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電磁閥 |
5/3位，靜態(tài)信號 |
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位置指示器：觸點額定值（PNP型） |
電壓：10 – 30 VDC |
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電流：≤ 200 mA |
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響應時間：≤ 0.1 ms |
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防護等級：IP 67 |
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閥位指示 |
磁性 |
產品應用
半導體制造：
在半導體生產中，真空閥是優(yōu)化生產流程的關鍵設備。VAT轉移門07.7以其高純度、低粒度、可控性、速度和可用性設定了標準。
閥門可根據(jù)特殊要求量身定制，滿足半導體制造中的控制和隔離需求。
科學儀器：
許多科學儀器使用高真空和ultra-high真空作為測量環(huán)境，對真空閥的耐用性和顆粒自由度有高要求。
VAT轉移門07.7在苛刻的工藝環(huán)境中具有很高的耐用性和長壽命，設計緊湊、節(jié)省空間，幾乎不需要維護。
薄膜涂覆：
薄膜涂覆工藝需要在受控的大氣條件下進行，真空度和氣體分布的準確控制對涂層過程的效率至關重要。
VAT轉移門07.7即使在不斷變化的工藝條件下也能實現(xiàn)準確、穩(wěn)定的操作，準確控制氣體流量，max限度地減少殘余氣體和顆粒排放。
高能物理研究：
高能物理研究中的許多實驗和測量需要在真空條件下進行，對真空閥等真空元件提出高要求。
VAT轉移門07.7的全金屬真空閥具有抗輻射、耐高溫、max程度地免受污染以及物理惰性等特點，適用于高能物理研究的所有領域。
津公網安備12010102000946號
