VAT快關(guān)閥75232-CE44-0006

快速關(guān)閉閥門的主要要求是在出現(xiàn)空氣涌入的情況下能夠快速可靠地做出反應(yīng)。由于泄漏導(dǎo)致 UHV 或 XHV 環(huán)境的損失，尤其是在加速器或儲存環(huán)等大容量環(huán)境中，可能會導(dǎo)致污染方面的重大問題，以及恢復(fù)所需真空水平所需的努力。

75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列可在壓力升高時通過快速關(guān)閉反應(yīng)保護真空度。該系列在 10 毫秒以下（取決于閥門直徑）以很快的速度關(guān)閉真空管路。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒都可以防止損壞程度，因此 75.2 設(shè)定了保護基準(zhǔn)。

75.2 設(shè)計為閘閥 (DN 40)，采用氣動驅(qū)動。標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度高。閥體max. 200°C執(zhí)行器為 50°C。閥蓋采用金屬密封，閘門密封采用 FKM，焊接金屬波紋管密封饋通。

快速關(guān)閉閥由單獨的控制器控制。控制器通過定期檢查系統(tǒng)、傳感器及其連接的就緒狀態(tài)來確保快速關(guān)閉時間。該控制器是模塊化的，可以針對不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)也由控制器提供遠(yuǎn)程輸出。反之亦然，閥門可以通過控制器上的接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列已經(jīng)在各種工藝條件下的加速器和儲存環(huán)設(shè)施中得到證明，已成為可靠的 UHV 和 XHV 系統(tǒng)保護的標(biāo)準(zhǔn)。

毫秒級緊急響應(yīng)：在檢測到真空泄漏或壓力異常時，閥門可在10毫秒內(nèi)（具體時間取決于閥門直徑）完成關(guān)閉，防止真空環(huán)境被破壞。

ultra-high密封性：關(guān)閉后泄漏率低于<1×10?? mbar·L/s，滿足半導(dǎo)體制造、粒子加速器等對真空純度要求高的場景。

系統(tǒng)保護基準(zhǔn)：通過快速隔離真空管路，避免污染擴散和設(shè)備損壞，成為行業(yè)公認(rèn)的真空系統(tǒng)保護標(biāo)準(zhǔn)。

加速器和儲存環(huán)設(shè)施：75.2系列已在全球多地加速器設(shè)施中長期運行，證明其能在惡劣工藝條件下穩(wěn)定工作。

免維護設(shè)計：初次維護前標(biāo)準(zhǔn)開關(guān)次數(shù)達(dá)2000次，實際使用中近乎免維護，降低長期擁有成本。

輻射抗性：閥體輻射抗性達(dá)10? Gy，閘門密封件抗性10? Gy（可選10? Gy），適應(yīng)核聚變裝置等強輻射環(huán)境。

半導(dǎo)體制造：在刻蝕、離子注入、PVD/CVD等工藝中，快速隔離反應(yīng)腔，防止污染氣體擴散至真空傳輸系統(tǒng)。

同步輻射光源與粒子加速器：維持ultra-high真空環(huán)境（≤10?? mbar），避免外界氣體干擾實驗精度。

真空滅菌與凍干設(shè)備：快速關(guān)閉防止細(xì)菌侵入，保障產(chǎn)品無菌安全。

太陽能電池鍍膜：如PERC、HJT技術(shù)依賴穩(wěn)定真空，閥門需響應(yīng)異常壓力波動。