當(dāng)前所在位置: 首頁(yè) > 產(chǎn)品首頁(yè) >液壓、氣動(dòng) >閥門(mén) >其他閥門(mén) >VAT泄壓閥21224-KEXX
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品介紹
泄壓閥的主要要求是其可靠和準(zhǔn)確作用的泄壓觸發(fā)器。212 減壓觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動(dòng)，該彈簧設(shè)計(jì)用于延長(zhǎng)使用壽命。觸發(fā)器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)，可處理 1.2 至 1.5 bar 閥門(mén)開(kāi)口處的壓差。其工作范圍設(shè)置在 1×10-8 mbar 和 1.2 bar 之間，氣體流量max.6升/分鐘。
212 系列在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中進(jìn)行了測(cè)試，證明了其可靠性。
212 泄壓閥有 DN 16mm (5/8") 可供選擇。閥體由不銹鋼制成。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF。其烘烤溫度≤150°C。
性能特點(diǎn)
精細(xì)保護(hù)
快速響應(yīng)壓力突變，防止系統(tǒng)過(guò)壓損壞，保障設(shè)備安全運(yùn)行。
適用于對(duì)壓力敏感的精細(xì)工藝，如半導(dǎo)體晶圓加工、真空鍍膜等。
成本效益
低擁有成本：長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)減少更換頻率，降低長(zhǎng)期維護(hù)費(fèi)用。
高性價(jià)比：在同類產(chǎn)品中，其性能與價(jià)格平衡出菜，適合大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用。
兼容性與靈活性
支持多種真空系統(tǒng)配置，可與其他VAT閥門(mén)（如閘閥、角閥）協(xié)同工作。
模塊化設(shè)計(jì)便于升級(jí)或擴(kuò)展，適應(yīng)未來(lái)工藝調(diào)整需求。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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觸發(fā)壓力與壓差 |
觸發(fā)器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)，可處理閥門(mén)開(kāi)口處 1.2至1.5 bar 的壓差。 |
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釋放觸發(fā)點(diǎn)為 >1.5 bar，即當(dāng)系統(tǒng)壓力超過(guò)此值時(shí)，閥門(mén)開(kāi)啟釋放壓力。 |
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工作范圍 |
壓力范圍覆蓋 1×10?³ mbar 至 1.2 bar，適用于從高真空到中等壓力的廣泛場(chǎng)景。 |
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這一特性使其在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等對(duì)壓力敏感的工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。 |
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流量與尺寸 |
max氣體流量為 6升/分鐘，滿足小流量精細(xì)調(diào)節(jié)需求。 |
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提供 DN 16mm（5/8"） 規(guī)格，兼容多種管道系統(tǒng)。 |
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材質(zhì)與結(jié)構(gòu) |
閥體采用 不銹鋼 制造，耐腐蝕、耐高溫，適應(yīng)苛刻工業(yè)環(huán)境。 |
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標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF，便于與現(xiàn)有真空系統(tǒng)集成。 |
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壽命與可靠性 |
觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動(dòng)，經(jīng)校準(zhǔn)后壽命顯著延長(zhǎng)，減少維護(hù)頻率。 |
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在數(shù)千種苛刻工藝條件下通過(guò)長(zhǎng)期測(cè)試，證明其穩(wěn)定性與可靠性。 |
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烘烤溫度 |
支持 ≤150°C 的烘烤溫度，適應(yīng)高溫消毒或工藝需求。 |
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
在晶圓加工、光刻、蝕刻等環(huán)節(jié)中，維持真空腔室壓力穩(wěn)定，避免污染或工藝偏差。
真空鍍膜
控制鍍膜過(guò)程中的氣體壓力，確保薄膜均勻性，提升產(chǎn)品良率。
太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)
在真空干燥、層壓等步驟中，防止壓力波動(dòng)導(dǎo)致電池板缺陷。
工業(yè)研究
實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中，為高精度實(shí)驗(yàn)提供可靠的壓力保障。
津公網(wǎng)安備12010102000946號(hào)
